Dimensi
W × H × D (mm): 1400 × 620 × 1410
Mikroskop Optik
Mikroskop ruang terbuka dengan iluminasi refleksi cahaya putih, kamera, objektif 5×, 10×, 100× sebagai standar. Turret objektif motorisasi opsional.
Rentang Spektral
Standar 200 nm - 2200 nm dari sampel ke detektor (achromatic, tanpa perubahan optik yang diperlukan).
Mikroskop Spektrometer
Panjang fokus: 800 mm.
Resolusi spektral FWHM pada panjang gelombang eksitasi 532 nm ≤ 0.6 cm-1 dengan kisi 1800 gr/mm dan ≤ 0.3 cm-1 dengan kisi 3000 gr/mm.
Stabilitas spektral RMS: < 0.02 cm-1 RMS Diukur pada garis Si 520 cm-1.
Dilengkapi dengan CCD Elektrode Terbuka (standar), EMCCD opsional, array detektor InGaAs opsional (maks. 3 detektor).
Resolusi Spasial
Resolusi lateral XY < 0.5 µm; Resolusi aksial Z < 1.5 µm.
Stage Motorisasi 300 mm × 300 mm
Stage motorisasi presisi tinggi dengan pengkodean XY (X = 300 mm, Y = 300 mm) dengan repeatabilitas ≤1 µm; akurasi = 1 µm; resolusi (pengkode) = 50 nm; ukuran langkah motor minimum = 10 nm.
Spesifikasi Z: resolusi (ukuran langkah minimum) = 0.01 µm.
Tempat duduk untuk wafer ukuran 4" (100 mm), 6" (150 mm), 8" (200 mm), dan 12" (300 mm) tersedia. Tempat duduk wafer kompatibel dengan vakum.
Laser
Panjang gelombang yang dapat dipilih pengguna: 266 nm, 325 nm, 355 nm, 405 nm, 458 nm, 473 nm, 532 nm, 633 nm, 660 nm, 785 nm, & 1064 nm. Hingga 6 motorisasi.
DuoScan™
Teknologi DuoScan™ untuk pemindaian laser cepat dan pencitraan Macrospot (dimensi macrospot tipikal 30 µm × 30 µm dengan objektif 50×).
‘
‘
‘
Hubungi:
PT Bopana Arga Prima Jaya
Jalan Jupiter VI Perum Bintang Metropol
Blok A7 No.16 Bekasi Utara 17122
Jawa Barat, Indonesia
Telp : 021-22163350
Hp : 08119762505 / 081285345374
Email : boney@bapj.co.id / tesa@bapj.co.id
